2-19ｼﾅﾘｵ　EP-3(8)出発石英管からのOH基の拡散

当時、MCVD法に使用されていた出発石英管中には、数百ppmのOH基が

含まれていました。そのためバリア層は堆積されていましたが十分ではなく

コア部に深く拡散したOH基の汚染が存在していたのでした。